1.沸石分子筛的水清洗再生

沸石分子筛经过长时间使用后，总会有一些粉尘或高沸点的VOC物质附着于吸附过程的进口面或蜂窝状孔道表面。造成风阻增大，吸附脱附效率下降。一般情况下，在停机大修时，用高压空气吹除沸石分子筛上的附著尘埃，即可恢复原有性能。但当粉尘与沸石分子筛表面附着的VOC或油类物质相结合时，单靠高压空气吹扫是难以脱附的。这时可以用热水或低压蒸汽对沸石分子筛进行清洁净化，实现再生。此法对水溶性VOC尤其有效。因为分子筛是由无机粘合剂在陶瓷纤维纸的表面涂覆分子筛而成。清洗时，不仅分子筛不会出现龟裂、变形，而且不会出现分子筛脱附性能差、使用寿命短等问题。

2.沸石分子筛的高温再生

一般说来，由于集成电路或液晶显示器等生产工艺的废气中含有高沸点物质，容易产生聚合有机物。当它进行吸附净化处理时，在标准再生温度(180~200℃)运行条件下，由于脱附不完全或由于聚合反应产生的高沸点物质而在沸石分子筛中发生。这不但使吸附净化效率降低，而且当沸石分子筛中蓄积的VOC超过一定含量时，甚至在标准再生温度操作条件下也会发生VOC自燃而引起沸石分子筛燃烧或引发火灾的危险性。当储存的VOC为水溶性时，可以用上述的水洗方法溶解储存在分子筛中的VOC，从而实现分子筛再生。积聚赋活法就是对通常使用标准再生温度(180~200)、定期(一般每隔2~6个月)进行高温再生(300℃)。

采用高温再生方法的先决条件是：①沸石分子筛本身要耐高温；②采用耐高温的密封材料和密封结构；③选用耐高温的再生空气鼓风机；④300℃以上的再生热源。